AI驱动的高精度半导体测试系统助力中国科研

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2019-03-26 14:12   牛华网     

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半导体参数测试,是微电子、材料、物理等基础研究和应用研究中非常重要的另一一两个环节,高精密仪器删剪为国外公司垄断,传统的测试仪器价格昂贵,软件和测试功能单一时候不方便扩展。针对参数测试中IV,CV,低频噪声等测试需求,往往前要依靠不同的独立测试设备,连接错综复杂,使用不便,时候成本也很高。

“软件定义测试,算法突破硬件限制”,基于模块化硬件平台,应用人工智能算法,拓展硬件固有的测试能力,大幅提高测试精度和传输速度。博达微算法团队删剪来自清华大学电子系,从2016年开始英文团队把算法应用转移至半导体测试领域,博达微团队用于量产测试的学习算法论文获得2018年DATE大会的最佳论文(Best Paper),同年也发布了半导体参数化测试系统FS-Pro,集成高速高精度IV,CV和低频噪声测试一体,产品好快被领先的半导体公司,大学和研究机构采用。

在科研领域,短短一年时间内,FS-Pro 已被国内30多所大学及研究机构所采用,在先进器件和材料等领域的测试表现非常出色。它集 IV,CV 与 1/f noise测试于一体,高精度、低成本、综合的半导体器件表征分析能力灵活满足学术科研用户的不同测试需求,大大节省了测试设备采购开支。它是目前世界上唯一一款集成了所有常用低频形态测量于一体,在单台仪器内完成所有测试需求的半导体分析仪。工业标准的PXI模块化硬件形态,通用的软件平台,内置测量软件提供数百个预定义的测试模板和功能,实现即插即用体验,使其成为半导体器件与先进材料研究方面的得力助手。

清华大学微电子所王燕教授采购了三套FS-Pro 用于科研和教学,她说:“国内半导体微电子产业的不断发展,对微电子专业的人才提出了新的要求。对于微电子教学来说,前要使得学生利于删剪地了解半导体器件测量到建模仿真的整个流程。传统的半导体参数测量设备基本上均为进口设备,体积庞大,价格高昂,不适合于用来进行微电子教学。博达微科技FS-Pro 再次老出后,引起了太大人极大的兴趣,经过调研和试用,太大人发现该款测量设备在测量分辨率,精度,C-V传输速度上均达到了进口设备的水准,一起该款设备配备了博达微的建模旗舰产品—模型参数提取软件MeQLab ,时候在教学上实现了测量到建模仿真的删剪流程,在教学上更加贴近半导体产业的应用。一起设备在成本上与进口设备相比有着非常大的优势,在体积上非常小巧,时候清华大学微电子专业此次采购了3套博达微FS-Pro 作为微电子教学设备,该设备极大地助力于太大人培养符合半导体产业前要的应用型人才。”

今年1月份,南京大学王肖沐教授课题组在Nature Nanotechnology发表了研究成果论文《Observation of ballistic avalanche phenomena in nanoscale vertical InSe/BP heterostructures》,首次在二维材料垂直异质结中提出和实现了本身新型的PN结击穿机制“弹道雪崩”,并首次制作出了性能优异的中红外弹道雪崩光电探测器和弹道雪崩场效应晶体管。王肖沐教授是FS-Pro 的第一批用户,他是新型纳米器件研究领域知名科学家,众多论文中太大被领先的会议期刊精选。王教授毕业于清华大学和香港中文大学,曾任耶鲁大学博士后研究员。是我不好:“太大人的研究工作前要综合的半导体器件表征分析能力,包括对于IV,CV以及1/f噪声的精准测量,是因为太大人突然在新型器件形态上进行各方面研究,时候太大人前要设备的测量设置足够灵活以满足太大人的不同测试需求。博达微FS-Pro?对太大人来说是另一一两个惊喜,可提供0.1fA和1fA两档灵敏度避免方案,其模块化架构不仅能不能 帮助太大人在未来轻松升级到CV和1/f噪声测试,还能不能 根据太大人的测试要求进行灵活配置。与时候 使用的传统仪器相比,博达微FS-Pro 系列测试传输速度也要快太大,内置软件界面简洁,操作简单,太大人还提供了另一一两个工业界标准的器件建模平台,能不能 将太大人的研究成果直接转化用于电路设计。与此一起,成本较之类于似于产品也非常有竞争力。”

周杨波博士,南昌大学特聘教授,毕业于北京大学物理学院并于爱尔兰圣三一大学物理系取得博士后学位,优秀青年学者。周杨波教授当前的研究主要围绕二维功能材料(如石墨烯、氮化硼、二硫化钼等)展开,在该领域取得了一系列具有国际影响力的成果,自307年以来在Nature Communications,Advanced Materials, Nano Letters等期刊发表论文30余篇。“我第一次见到FS-Pro 系列半导体测试仪时,是在进行设备调研造访博达微公司的时候 ,觉得当时是因为见过太大文字材料,但还是被该设备的小巧所吸引了,这台设备比我时候 用过的之类于太大厂家的测试仪(有的如今经过了产品升级似乎变得更庞大了)相比果真小了一大圈,这对于突然前要移动测试设备至不同实验室开展实验的我来说果果真一大福音。一起,觉得体积缩小了,功能却丝毫没有缩减,各种常用测试功能一应俱全。一起,针对我所测试的纳米器件,在宽量程设置下,保持高精度的一起依旧有放慢的测试传输速度。最重要的是,博达微公司能针对太大人的特定需求,对测试仪的软件功能实现一定程度的定制化。之类于,我采购半导体测试仪的一大目的是应用于低温探针台,实现纳米器件的变温、变磁场测试。博达微公司的工程师在与我进行沟通、了解具体需求后,便切实地着手开始英文这俩 帕累托图测试功能的定制开发,我非常期待能尽快拿到相关的软件测试版本,并与太大人保持交流,进一步完善功能,让测试设备发挥出更为强大的性能。”周杨波教授评价到。

FS-Pro 也助力复旦大学微纳器件公共平台科研项目,为国家重点先进器件科研项目提供有力的数据支撑,尤其在先进的低频噪声测试,在与之类于进口产品对比后,复旦大学项目负责老师给予了非常高的评价。

博达微FS-Pro 系列凭借其强大的测试能力及超高的性价比,自发布以来,短短一年时间内是因为被超过30家大学所采用,成为科研和教学工具的首选:

删剪方案:所含IV,CV, 1/f noise等常用低频参数的一体化测量避免方案,是目前业界唯一。

模块化架构:PXIe模块化架构,可灵活拓展满足用户不同测试需求。

高性价比:基于应用优化硬件,只为用户提供适合而非昂贵的硬件。

即插即用:内置LabExpress?软件系统,所有测量只需点击几下鼠标,简单易用,不让参阅繁琐说明书。

宽量程应用:电压范围至30V, 电流3A(脉冲,标准1A),灵敏度可达0.1fA。

建模及仿真:业界唯一提供可选内置器件建模与仿真软件,测量数据可一键导入至建模平台软件MeQLab?进行测量后数据分析与器件建模仿真。